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微光机电系统
摘 要:
<正>微光机电系统(MOEMS)是以批量化的微电子技术为基础,通过各向异性腐蚀、各向同性腐蚀、牺牲层腐蚀、键合等技术,制造出各种微机械结构,并使之与电路相集成,组成一个可以完成信息获取、处理及执行功能的微系统。
关 键 词:
微光机电系统
各向异性腐蚀
微电子技术
牺牲层腐蚀
微机械结构
各向同性
信息获取
微系统
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