| 压电陶瓷迟滞建模及控制仿真 |
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| 引用本文： | 王晓东,江国栋. 压电陶瓷迟滞建模及控制仿真[J]. 压电与声光, 2016, 38(6) |
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| 作者姓名： | 王晓东 江国栋 |
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| 作者单位： | (1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033；,2.中国科学院大学，北京 100039) |
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| 摘 要： | 为了提高压电陶瓷驱动器在调节光学谐振腔长度时的精度，设计了一种压电陶瓷驱动系统。同时，为了改善压电陶瓷的迟滞特性，利用Duhem迟滞模型对其进行建模，利用梯度下降法对模型参数进行辨识，得到迟滞模型；并利用逆模型补偿及比例、积分、微分(PID)复合控制方法进行控制。实验结果表明，Duhem模型可以有效地拟合压电陶瓷驱动器的迟滞，在15 μm的范围内，最大拟合误差小于0.2 μm ；同时，在复合控制下，驱动器的最大控制误差为12 nm，表明该复合控制方法的有效性。
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| 关 键 词： | 压电陶瓷；驱动系统；Duhem模型；梯度下降法；比例、积分、微分(PID) |
Hysteresis Modeling and Control Simulation of Piezoelectric Ceramic |
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| WANG Xiaodong and JIANG Guodong. Hysteresis Modeling and Control Simulation of Piezoelectric Ceramic[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2016, 38(6) |
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| Authors: | WANG Xiaodong and JIANG Guodong |
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| Affiliation: | (1.Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Science, Changchun 130033, China; and 2.University of Chinese Academy of Science, Beijing 100039, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric ceramic driving system Duhem model gradient descent method PID |
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