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面向精密平台的压电堆执行器动态特性研究
引用本文:王渊,浮洁,李沛东,邢志伟,余淼.面向精密平台的压电堆执行器动态特性研究[J].压电与声光,2015,37(2):223-227.
作者姓名:王渊  浮洁  李沛东  邢志伟  余淼
作者单位:(重庆大学 光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室,重庆 400044)
基金项目:国家自然科学基金资助项目(61203098);中央高校基本科研业务基金资助项目(CDJZR120018,CDJZR11128801);国家科技支撑计划基金资助项目(2012BAF06804)
摘    要:设计了压电堆执行器在空载与受约束条件下的测试系统,在不同频率交流电压驱动下测得执行器的最大输出位移和输出力分别为36.9μm和669.5 N。根据测试结果辨识出执行器动态工作时的等效刚度为20.9N/μm。此外,对压电堆执行器的阶跃响应及迟滞特性进行测试。阶跃响应测试结果表明执行器的上升时间约为3ms,稳定时间约为5ms,响应速度能够满足精密平台振动控制的要求。迟滞特性的分析结果表明在精密平台振动控制中需考虑迟滞非线性对控制精度的影响。

关 键 词:压电堆执行器  动态特性  等效刚度  阶跃响应  迟滞特性

Study on the Dynamic Characteristics of Piezoelectric Stack Actuator Used for Precision Platform
WANG Yuan,FU Jie,LI Peidong,XING Zhiwei and YU Miao.Study on the Dynamic Characteristics of Piezoelectric Stack Actuator Used for Precision Platform[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2015,37(2):223-227.
Authors:WANG Yuan  FU Jie  LI Peidong  XING Zhiwei and YU Miao
Affiliation:(Key Lab. of Optoelectronic Technology and System, Education Ministry, College of Optoelectronic Engineering,Chongqing University, Chongqing 400044,China)
Abstract:
Keywords:
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