| 振动能量拾取MEMS压电式微能源研究 |
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| 引用本文： | 杨杰,燕乐,许卓,李惠琴,陈东红,丑修建.振动能量拾取MEMS压电式微能源研究[J].压电与声光,2015,37(2):320-319. |
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| 作者姓名： | 杨杰 燕乐 许卓 李惠琴 陈东红 丑修建 |
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| 作者单位： | （1. 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西 太原 030051;;2. 中北大学 电子测试技术重点实验室，山西 太原 030051） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（51275492；61127008）；国家高技术研究发展计划（“八六三”计划）基金资助项目（2013AA041109） |
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| 摘 要： | 设计并制作了一种"四悬臂梁-中心质量块"结构的振动能量拾取微机电系统(MEMS)压电式微能源,实现了环境振动能量向电能的转换。首先利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PbZrxTi1-xO3,PZT)压电薄膜的异质集成制备;然后通过MEMS工艺和引线键合技术进行器件基础结构的集成制造;最后借助振动测试系统对该器件的各项输出性能进行测试。测试结果表明,8Hz谐振频率工作状态下,该压电式微能源器件的输出电压峰-峰值随着加速度激励的增加呈线性增大,当加速度激励为10 m/s2时,该能量采集器件的输出电压峰-峰值为82.4mV。在器件两端加载2.0 MΩ的负载时,器件输出功率密度达最大值(为2.074 3μW/cm3)。
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| 关 键 词： | 压电效应 微机电系统(MEMS) 振动 微能源 输出性能 |
Study on Vibrational Power Harvesting MEMS Micro Power Based on Piezoelectric Effect |
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| YANG Jie,YAN Le,XU Zhuo,LI Huiqin,CHEN Donghong,and CHOU Xiujian.Study on Vibrational Power Harvesting MEMS Micro Power Based on Piezoelectric Effect[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2015,37(2):320-319. |
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| Authors: | YANG Jie YAN Le XU Zhuo LI Huiqin CHEN Donghong and CHOU Xiujian |
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| Affiliation: | YANG Jie;YAN Le;XU Zhuo;LI Huiqin;CHEN Donghong;CHOU Xiujian;Key Lab.of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education,North University of China;Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory,North University of China; |
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