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硼微晶玻璃片简介
作者姓名:
毛兴武
作者单位:
山东临沂半导体器件厂
摘 要:
硼微晶玻璃片(PWB)是一种新型的平面固体扩散源。大量的实践证明,PWB具有热稳定性好、不易吸潮、工艺简单、不粘硅片、易于保存、扩散均匀性和重复性好、成本低、寿命长等一系列特点,因此,它是目前比较理想的硼扩散源。
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