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| 6328全反射介质膜真空镀膜工艺探讨 | |
| 引用本文： | 张钧,王玉平.6328全反射介质膜真空镀膜工艺探讨[J].真空,2004(5). |
| 作者姓名： | 张钧 王玉平 |
| 作者单位： | 河北理工大学轻工学院，河北理工大学轻工学院 河北 唐山 063020，河北 唐山 063020 |
| 摘 要： | 阐述了6328 全反射介质膜的镀膜原理和实际镀膜工艺,分析了镀膜后必须进行固膜的原因,并给出了镀制6328 全反射介质膜的蒸镀参数和经过固膜后的测量结果分析。 |
| 关 键 词： | 镀膜 薄膜光学 固膜 蒸镀参数 柱体 |
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