溅射沉积薄膜压力传感器

现已发展一种用溅射法制造高稳定度应变压力传感器的新方法。经过长期恶劣环境的考验表明这种传虑器的性能大大超过其它形式的应变传感器。本文叙述了制造应变传感器元件的溅射工艺过程并把它与其它形式的应变传感器的试验结果进行了比较。