碳化硅薄膜热敏材料的制备 |
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引用本文: | 杨树贵,王静,刘玉娟.碳化硅薄膜热敏材料的制备[J].功能材料,1989(1). |
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作者姓名: | 杨树贵 王静 刘玉娟 |
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作者单位: | 东北工学院物理系,东北工学院物理系,东北工学院物理系 |
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摘 要: | 本文介绍了采用硅、碳复合靶射频溅射镀制碳化硅薄膜。用四探针法分别测得了在不同氩气分压下,不同溅射功率与基板温度下,电阻率与温度关系曲线。用 NP-1型光电子能谱仪测量薄膜成分。结果表明在不同的溅射条件下,制备的碳化硅薄膜属于硅、碳、碳化硅混合成分的薄膜,其电阻率相差很大。本工艺制备的碳化硅薄膜,在所测量的0~300℃温区内,具有明显的负温度系数。
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关 键 词: | 复合靶 射频溅射 碳化硅薄膜 |
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