| BST组分梯度薄膜的性能研究 |
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| 引用本文： | 赵旭,胡作启,李园园,谢子健,王宇辉. BST组分梯度薄膜的性能研究[J]. 真空科学与技术学报, 2012, 32(11): 955-960 |
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| 作者姓名： | 赵旭 胡作启 李园园 谢子健 王宇辉 |
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| 作者单位： | 华中科技大学光学与电子信息学院 武汉430074 |
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| 基金项目： | 航天科工集团支撑基金项目;湖北省自然科学基金项目(2007ABA112) |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了上组分梯度、下组分梯度及单层BST薄膜,对比研究了三种结构BST薄膜的电、热性能.实验表明:下组分梯度BST薄膜的介电性能最优(优值因子为66.2),温度稳定性能最佳(在25～80℃范围内,介温变化率为7.8％).此外,实验还运用X射线衍射仪、场发射电子扫描显微镜和透射电子显微镜对BST薄膜的晶体结构进行了研究,运用EDS能谱仪对BST薄膜的组分梯度进行了验证.
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| 关 键 词： | 梯度薄膜 磁控溅射 温度稳定性 EDS线扫描 |
Growth and Properties Characterization of Compositional Graded Barium Strontium Titanate Films |
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| Zhao Xu,Hu Zuoqi,Li Yuanyuan,Xie Zijian,Wang Yuhui. Growth and Properties Characterization of Compositional Graded Barium Strontium Titanate Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2012, 32(11): 955-960 |
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| Authors: | Zhao Xu Hu Zuoqi Li Yuanyuan Xie Zijian Wang Yuhui |
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| Affiliation: | (Huazhong University of Science and Technology,School of Optical and Electronic Information,Wuhan 430074,China) |
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| Abstract: | |
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