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| 微波等离子体化学气相沉积系统谐振腔研究 | |
| 引用本文： | 邱瑞,周长庚,罗勇. 微波等离子体化学气相沉积系统谐振腔研究[J]. 真空科学与技术学报, 2012, 32(12): 1119-1122 |
| 作者姓名： | 邱瑞 周长庚 罗勇 |
| 作者单位： | 1. 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 绵阳621900;电子科技大学 成都610051 2. 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 绵阳621900 3. 电子科技大学 成都610051 |
| 摘 要： | 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法是目前最有发展前景的高质量金刚石薄膜沉积方法之一,但由于谐振腔中微波与等离子体之间强烈的相互作用,人们很难根据经验对谐振腔进行改进,本文利用HFSS软件对不锈钢式MPCVD的谐振腔进行了模拟,通过分析谐振腔内电场以及等离子体的分布,对谐振腔的主要参数进行了优化处理,并根据模拟结果设计出谐振腔系统,在一定条件下,沉积出了优质的金刚石膜,沉积速率可达到0.33 μm/h. |
| 关 键 词： | 微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 谐振腔优化 HFSS |
Design of Cylindrical Resonator for Microwave Power Chemical Deposition Reactor |
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| Qiu Rui,Zhou Changgeng,LuoYong. Design of Cylindrical Resonator for Microwave Power Chemical Deposition Reactor[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2012, 32(12): 1119-1122 | |
| Authors: | Qiu Rui Zhou Changgeng LuoYong |
| Affiliation: | 1.Institute of Nuclear Physics and Chemistry CAEP,Mianyang 621000,China;2.University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610051,China) |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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