| 离子束轰击诱导硅表面纳米结构和铁纳米条纹 |
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| 引用本文： | 唐光盛,刘宏燕,曾飞,潘峰. 离子束轰击诱导硅表面纳米结构和铁纳米条纹[J]. 真空科学与技术学报, 2012, 32(11): 1055-1059 |
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| 作者姓名： | 唐光盛 刘宏燕 曾飞 潘峰 |
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| 作者单位： | 清华大学材料系先进材料教育部重点实验室 北京100084 |
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| 基金项目： | 国家973重点基础研究发展计划(2010CB832905) |
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| 摘 要： | 研究了氩离子束轰击诱导硅表面自组装纳米结构和铁纳米条纹的形成规律.在单晶Si(100)表面水平放置直径为2mm的铁棒,采用3 keV氩离子束垂直轰击硅样品表面.扫描电镜观察表明:在金属铁棒周围由近及远,硅表面形成纳米条纹和纳米点阵,纳米条纹向纳米点阵的过渡形貌为链状纳米椭圆结构；并在铁棒区域自组装出金属铁纳米条纹.通过阻尼Kuramoto-Sivashinsky方程对离子束作用下固体表面纳米结构的形成机理进行了合理的诠释与讨论.
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| 关 键 词： | 离子束轰击 自组装纳米结构 表面形貌 阻尼Kuramoto-Sivashinsky方程 |
Formation of Fe Nano-Ripples and Nano-Structures on Si Surfaces Induced by Ion bombardment |
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| Tang Guangsheng,Liu Hongyan,Zeng Fei,Pan Feng. Formation of Fe Nano-Ripples and Nano-Structures on Si Surfaces Induced by Ion bombardment[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2012, 32(11): 1055-1059 |
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| Authors: | Tang Guangsheng Liu Hongyan Zeng Fei Pan Feng |
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| Affiliation: | (Laboratory of Advanced Materials,Department of Materials Science and Engineering,Tsinghua University,Beijing 100084,China) |
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