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| 1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究 | |
| 作者姓名： | 洪雁 赵鹏 郑丽娟 何丹 裘萍 |
| 作者单位： | 昆明物理研究所,云南,昆明,650223 |
| 摘 要： | 简要介绍了通过阳极氧化工艺条件的改变，确定1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化的最佳工艺条件，从而改善了器件性能，大大提高了产品成品率。 |
| 关 键 词： | 短波 阳极氧化工艺 光导 器件性能 红外光 探测器 成品率 改变 最佳工艺条件 研究 |
| 文章编号： | 1001-8891(2004)06-0045-03 |
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