| 调制比对GDC/YSZ多层氧离子导体薄膜结构与电学性能的影响 |
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| 引用本文： | 孟昕,孟宪芹,姜雪宁,庞胜利,李向楠,张庆瑜.调制比对GDC/YSZ多层氧离子导体薄膜结构与电学性能的影响[J].功能材料,2010,41(7). |
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| 作者姓名： | 孟昕 孟宪芹 姜雪宁 庞胜利 李向楠 张庆瑜 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,三束材料改性实验室,辽宁,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用反应射频磁控溅射技术在(0001)蓝宝石基片上制备了不同调制结构的(GDC/YSZ)12多层氧离子导体电解质薄膜。利用电子探针微区分析技术测得薄膜的摩尔质量比为m(Zr):m(Y)=5.73:1、m(Ce):m(Gd)=4.12:1;X射线衍射(XRD)与小角X射线反射(XRR)结果表明,GDC/YSZ调制比为5:1、2:1和1:2的样品(A1～A3)具有好的超晶格结构,而A4样品未形成超晶格结构;原子力显微镜形貌分析结果表明多层膜呈密集岛状生长形貌,与GDC、YSZ单层膜比较,多层膜生长岛尺寸减小,密度增大,表面粗糙度明显减小;电学性能测试与理论分析结果表明,界面缺陷使多层膜电导率提高,而GDC成分增多,则超晶格多层膜电导率增大。
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| 关 键 词： | GDC/YSZ多层薄膜 结构 表面形貌 电学性质 |
Influence of modulation ratio on structure and electrical properties of GDC/YSZ multilayered oxygen ionic conductors |
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| MENG Xin,MENG Xian-qin,JIANG Xue-ning,PANG Sheng-li,LI Xiang-nan,ZHANG Qing-yu.Influence of modulation ratio on structure and electrical properties of GDC/YSZ multilayered oxygen ionic conductors[J].Journal of Functional Materials,2010,41(7). |
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| Authors: | MENG Xin MENG Xian-qin JIANG Xue-ning PANG Sheng-li LI Xiang-nan ZHANG Qing-yu |
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