剧烈-温和阳极氧化结合法快速制备有序阳极氧化铝膜的研究 |
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作者姓名: | 郝爱文 黄丽清 程龙 李新 张薇薇 单冬至 冯雪红 |
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作者单位: | (1. 西安交通大学 理学院, 物质非平衡合成与调控教育部重点实验室, 西安 710049; 2. 中国洛阳电子装备试验中心, 洛阳 471000) |
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基金项目: | 陕西省科学技术研究发展计划项目(2012K07-19)~~ |
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摘 要: | 本研究采用剧烈-温和阳极氧化(hard anodization-mild anodization, HA-MA)结合快速制备高度有序多孔阳极氧化铝(porous anodic alumina, PAA)膜的方法, 即先利用HA在铝表面快速形成有序凹坑阵列, 然后再对表面留有有序凹坑的铝基进行温和阳极氧化, 制备出有序PAA膜。研究了剧烈阳极氧化时氧化电压、氧化时间对所制备PAA膜有序度的影响。研究结果表明, HA-MA结合法制备PAA膜的优化HA参数为: 0.3 mol/L硫酸、80 V、10 min。HA-MA结合法所制备PAA膜的有序性和机械稳定性与二步温和阳极氧化法的相近, 但形成有序PAA膜所需的时间为4.5 h, 约为温和阳极氧化法的1/4, 极大地提高了高度有序PAA膜的制备效率。
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关 键 词: | 多孔阳极氧化铝 温和阳极氧化法 剧烈阳极氧化法 剧烈-温和阳极氧化结合法 |
收稿时间: | 2013-10-12 |
修稿时间: | 2013-12-20 |
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