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| 显微标尺标准测量装置的研究 | |
| 引用本文： | 方仲平,杜贤和.显微标尺标准测量装置的研究[J].计量学报,1991,12(2):96-101. |
| 作者姓名： | 方仲平 杜贤和 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院 (方仲平)，中国计量科学研究院(杜贤和) |
| 摘 要： | 本文介绍显微标尺测量装置的基本原理及其光学机械结构。该装置最小可测线条宽度为0.6μm、线间距为1.2μm,量程为2mm,分辨率为0.01μm,测量不确定度为±0.1μm。该装置还可以测量高精度计量光栅及激光光盘等透明基体上刻线的间距和线宽值。 |
| 关 键 词： | 标尺 测量 装置 检测 |
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