全自动智能化计算机控制系统在真空离子镀膜机中的应用

本文介绍一种全自动、智能化计算机控制系统在真空离子镀膜机设备中的应用,可实现对真空离子镀膜机设备中各设备(泵阀机组、真空计、多路气路系统、电弧电源系统、偏压电源系统、溅射电源系统等)的全自动控制,实现对各种工件镀膜过程的装炉、自动抽气、镀膜、充气以及卸载工件等过程。