| 溶胶-凝胶法制备SiO_2薄膜工艺研究 |
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| 引用本文： | 商灵芝,董进会.溶胶-凝胶法制备SiO_2薄膜工艺研究[J].中国陶瓷,2011(6). |
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| 作者姓名： | 商灵芝 董进会 |
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| 作者单位： | 唐山陶瓷股份有限公司; |
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| 摘 要： | 以正硅酸乙酯为前驱体,以溶胶-凝胶法制备SiO2溶胶并且采用提拉法在玻璃基片上制备二氧化硅薄膜。研究了反应过程中反应温度、反应时间、催化剂、乙醇和水的加入量对溶胶性质和成膜性能的影响,研究了提拉速度和焙烧温度对二氧化硅薄膜润湿性能的影响。实验结果表明,适宜的反应条件为:反应物的摩尔比TEOS∶EtOH∶H2O=1∶1.5∶1.0,反应温度70℃,pH=3,反应时间1h,薄膜适宜的焙烧温度为450℃。所制备出的二氧化硅薄膜均匀透明,润湿性能良好。
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 二氧化硅薄膜 润湿性能 |
TECHNOLOGY RESEARCH ON SILICA FILM PREPARATION BY Sol-gel METHOD |
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| Shang Lingzhi,Dong Jinhui.TECHNOLOGY RESEARCH ON SILICA FILM PREPARATION BY Sol-gel METHOD[J].China Ceramics,2011(6). |
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| Authors: | Shang Lingzhi Dong Jinhui |
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| Affiliation: | Shang Lingzhi,Dong Jinhui(Tangshan ceramics stock co.,LTD.Tangshan 063020) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sol-gel Method Silica Film Wettability |
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