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刻蚀铜薄膜的新技术
摘    要:日本三井金属公司开发了刻蚀铜薄膜的新技术。此技术采用新型铜薄膜的刻蚀液,保证垂直刻蚀。因而铜线宽度可设计成比以前宽度窄1/3,即20μm。采用此技术可将TFT-LCD电视更轻量化,并降低了成本。

关 键 词:刻蚀液  铜薄膜  技术  TFT-LCD电视  轻量化  宽度
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