| 激光聚焦扫描扇区掩模制作光电码盘新方法 |
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| 引用本文： | 赵立新,胡松,王肇志,罗正全.激光聚焦扫描扇区掩模制作光电码盘新方法[J].微细加工技术,2007(6):8-11. |
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| 作者姓名： | 赵立新 胡松 王肇志 罗正全 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所,成都,610209 |
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| 摘 要： | 为了改进光电码盘的制作工艺,提高效率,降低成本,提出了一种光电码盘的光刻方法.通过计算机控制激光聚焦扫描扇区掩模制作来选择扇区掩模的码道,采用光学光刻的方法制作码盘,取消了传统码盘光刻的精缩物镜和穿孔带.同时,扫描光斑远大于直写光斑,大大提高了加工效率.阐述了高斯光斑的腰束半径与扫描步距的关系,分析了扫描场能量分布的不均匀度,并给出了曝光实验的光刻效果.结果表明,该方法能够满足光电码盘的制作要求,成功地取代了光电码盘的传统制作方法,具有很好的工程应用前景.
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| 关 键 词： | 光电码盘 扇区掩模 高斯光斑 聚焦扫描 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)06-0008-04 |
| 修稿时间： | 2007年8月1日 |
A Novel Fabrication of Photoelectrical Encoder by Laser Focus Scanning Fan-mask |
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| ZHAO Li-xin,HU Song,WANG Zhao-zhi,LUO Zheng-quan.A Novel Fabrication of Photoelectrical Encoder by Laser Focus Scanning Fan-mask[J].Microfabrication Technology,2007(6):8-11. |
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| Authors: | ZHAO Li-xin HU Song WANG Zhao-zhi LUO Zheng-quan |
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