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| 亚微米(i线和g线)投影光刻物镜 | |
| 摘 要： | 亚微米（ｉ线和ｇ线）投影光刻物镜中国科学院光电技术研究所根据所承担的中国科学院“八·五”重大科研项目“微电子专用装备技术研究”和国家“八·五”科技攻关项目“０．８～１微米分步重复投影光刻机研制”专题，研究成ｉ线和ｇ线两种投影光刻物镜。作为单元成果已应... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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