| 大面积等离子体聚合装置的研制 |
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| 引用本文： | 李中华,王敬宜,王云飞,周先凯. 大面积等离子体聚合装置的研制[J]. 真空与低温, 2004, 10(1): 36-38,46 |
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| 作者姓名： | 李中华 王敬宜 王云飞 周先凯 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 通过在原有射频放电平行平板等离子体聚合装置上增加卷绕机构,实现了大面积等离子体聚合镀膜.膜的最宽可达200 mm,镀膜速度可在0.01～5.00 mm/s范围内调节,薄膜可以正、反方向运动.
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| 关 键 词： | 等离子体 聚合装置 卷绕机构 |
| 文章编号： | 1006-7086(2004)01-0036-03 |
| 修稿时间： | 2003-11-11 |
DEVELOPMENT OF LARGE AREA PLASMA POLYMERIZATION FACILITY |
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| LI Zhong-hua,WANG Jing-yi,WANG Yun-fei,ZHOU Xian-kai. DEVELOPMENT OF LARGE AREA PLASMA POLYMERIZATION FACILITY[J]. Vacuum and Cryogenics, 2004, 10(1): 36-38,46 |
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| Authors: | LI Zhong-hua WANG Jing-yi WANG Yun-fei ZHOU Xian-kai |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | plasma polymerization facility convolution framework |
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