| SiC纤维直流电阻加热CVD工艺研究 |
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| 引用本文： | 蔡杉,李占一,董妍,颜鸣皋. SiC纤维直流电阻加热CVD工艺研究[J]. 材料工程, 2005, 0(10): 47-51 |
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| 作者姓名： | 蔡杉 李占一 董妍 颜鸣皋 |
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| 作者单位： | 北京航空材料研究院,先进复合材料国防科技重点实验室,北京100095;北京航空材料研究院,先进复合材料国防科技重点实验室,北京100095;北京航空材料研究院,先进复合材料国防科技重点实验室,北京100095;北京航空材料研究院,先进复合材料国防科技重点实验室,北京100095 |
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| 摘 要： | 对SiC纤维的直流电阻加热CVD工艺进行了研究,实验采用将两种硅烷的比例混合液体通过液体流量计计量供液并即时完全汽化后与氢气混合输入到反应管并在水冷水银封入气口通入顶吹氢的供气方案,从而简化了工艺并解决了反应气体冷凝问题.在CVD工艺研究中发现影响纤维沉积质量的因素主要有沉积温度、反应气体组分及流量、走丝速度等工艺参数,此外还发现直流电阻加热CVD工艺中,反应管前后存在约200℃的温差,采用双沉积室工艺可减缓温差.在一定的沉积参数下,可沉积出直径60～100μm、抗拉强度3100～4080MPa的SiC纤维.
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| 关 键 词： | 直流电阻加热 SiC纤维 CVD工艺 |
| 文章编号： | 1001-4381(2005)10-0047-05 |
| 收稿时间： | 2005-01-13 |
| 修稿时间： | 2005-07-20 |
The Preparation of SiC Fibre by DC Electrically Heating CVD |
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| CAI Shan,LI Zhan-yi,DONG Yan,YAN Ming-gao. The Preparation of SiC Fibre by DC Electrically Heating CVD[J]. Journal of Materials Engineering, 2005, 0(10): 47-51 |
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| Authors: | CAI Shan LI Zhan-yi DONG Yan YAN Ming-gao |
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| Affiliation: | National Key Laboratory of Advanced Composites, Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing 100095, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | DC electrically heating SiC fibre CVD process |
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