| sol-gel法制备的SnO_2-TiO_2厚膜及其气敏特性研究 |
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| 引用本文： | 刘萌萌,潘国峰,白卫芹,王其民.sol-gel法制备的SnO_2-TiO_2厚膜及其气敏特性研究[J].功能材料,2015(12). |
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| 作者姓名： | 刘萌萌 潘国峰 白卫芹 王其民 |
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| 作者单位： | 河北工业大学 微电子研究所,天津,300130 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项资助项目，国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用sol-gel法,以钛酸丁酯、四氯化锡为前驱体制备了不同掺杂量的Sn O2-Ti O2纳米粉末,样品经300,500,700和900℃退火后,利用浸渍提拉法,在Al2O3陶瓷管表面制备了Sn O2-Ti O2厚膜。通过XRD和SEM对制备的纳米粉末的物相、形貌进行表征,静态配气法对其气敏性能进行测试,并结合分子轨道理论探讨了气敏机理。实验结果表明,经700℃退火的4%(原子分数)掺杂的Sn O2-Ti O2气敏元件,对乙醇气体具有很好的选择性,在工作温度为63℃时,对乙醇气体的灵敏度可达1 903,响应-恢复时间分别为1和3 s,所制备的气敏元件有望用于乙醇气体的实用化检测。
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| 关 键 词： | sol-gel法 气敏传感器 TiO2厚膜 掺杂量 |
Study on gas sensing properties of the SnO2-doped TiO2 thick film prepared by sol-gel method |
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| LIU Mengmeng,PAN Guofeng,BAI Weiqin,Wang Qimin.Study on gas sensing properties of the SnO2-doped TiO2 thick film prepared by sol-gel method[J].Journal of Functional Materials,2015(12). |
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| Authors: | LIU Mengmeng PAN Guofeng BAI Weiqin Wang Qimin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel method gas sensor TiO2 thick film doping amount |
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