| MEMS模拟仿真研究和发展现状 |
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| 引用本文： | 徐炎冰,范真,丁建宁,李长生,凌智勇. MEMS模拟仿真研究和发展现状[J]. 现代制造工程, 2004, 0(12): 116-118 |
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| 作者姓名： | 徐炎冰 范真 丁建宁 李长生 凌智勇 |
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| 作者单位： | 江苏省镇江市江苏大学校本部671信箱,212013;江苏省镇江市江苏大学校本部671信箱,212013;江苏省镇江市江苏大学校本部671信箱,212013;江苏省镇江市江苏大学校本部671信箱,212013;江苏省镇江市江苏大学校本部671信箱,212013 |
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| 摘 要： | 介绍微机电模拟和仿真的一些基本特点 ,概括MEMSCAD的体系结构 ,以及等效电路法建立宏模型的方法和用ANSYS进行耦合场分析 ,并指出今后有待研究的几个问题。
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| 关 键 词： | MEMS CAD 系统级仿真 耦合场 宏模型 |
| 文章编号： | 1671-3133(2004)12-0116-03 |
| 修稿时间： | 2004-08-18 |
Research for modeling and simulation of MEMS and its development |
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| XU Yanbing,FAN Zhen,Ding Jianning,LI Changsheng,Ling Zhiyong. Research for modeling and simulation of MEMS and its development[J]. Modern Manufacturing Engineering, 2004, 0(12): 116-118 |
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| Authors: | XU Yanbing FAN Zhen Ding Jianning LI Changsheng Ling Zhiyong |
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| Abstract: | Introduce the primary contents and characteristics of modeling and simulation of MEMS.And then,summarize structure system of MEMS CAD and especially introduce how to build macro-model with equivalent-circuit and analyze field-coupling with ANSYS.In the end,point out some problems that need researching in the future. |
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| Keywords: | MEMS CAD System-level simulation Field-coupling Marco-model |
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