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| 微纳米光学测量的严格耦合波分析方法 | |
| 作者姓名： | 李琪 施玉书 李伟 黄鹭 李适 高思田 张树 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院,北京 100029;中国计量科学研究院,北京 100029;中国计量科学研究院,北京 100029;中国计量科学研究院,北京 100029;中国计量科学研究院,北京 100029;中国计量科学研究院,北京 100029;中国计量科学研究院,北京 100029 |
| 基金项目： | 国家质量基础的共性技术研究与应用专项 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 微纳尺度 光学测量 傅里叶空间 严格耦合波 二维周期结构 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |