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原子光刻大面积纳米光栅
作者姓名：殷聪  张彤  王建波  钱进  石春英
作者单位：中国计量科学研究院,北京 100029;北京工业大学,北京 100022
基金项目：中国计量科学研究院基本科研业务费专项
摘    要：
关 键 词：原子光刻  纳米间距  光栅  大面积  椭圆光斑
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