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| 锑化铟红外探测器二氧化硅钝化膜中氢含量的分析 | |
| 引用本文： | 刘世杰,吴越,谢葆珍,李春瑛,耿小敏,吴佩琏.锑化铟红外探测器二氧化硅钝化膜中氢含量的分析[J].激光与红外,1988(4). |
| 作者姓名： | 刘世杰 吴越 谢葆珍 李春瑛 耿小敏 吴佩琏 |
| 作者单位： | 中科院高能物理所，中科院高能物理所，中科院高能物理所，电子部11所，电子部11所，电子部11所 |
| 摘 要： | 用氦离子前角反冲技术研究了等离子体增强化学气相淀积工艺制备的红外探测器二氧化硅钝化膜膜层内的氢含量、浓度以及氢分布的深度。结果表明,所测量的氢分布深度与椭偏法所测得膜厚结果是一致的,膜层中氢的含量随淀积时间的增加是非线性的、氢含量与浓度随淀积温度和射频功率密度的增加而减少。实验也表明了膜层的腐蚀速率与氢含量的关系。 |
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