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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
Thermoresistance of p‐Type 4H–SiC Integrated MEMS Devices for High‐Temperature Sensing
Authors:
Toan Dinh
Tuan‐Khoa Nguyen
Hoang‐Phuong Phan
Quan Nguyen
Jisheng Han
Sima Dimitrijev
Nam‐Trung Nguyen
Dzung Viet Dao
Abstract:
Keywords:
high temperatures
MEMS sensors
silicon carbide
thermoresistance
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