Mini/Micro LED巨量转移技术研究与发展现状 |
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引用本文: | 王伟,赵甜甜,刘强,韩邦成,牛萍娟,桑建.Mini/Micro LED巨量转移技术研究与发展现状[J].光学精密工程,2023(2):183-199. |
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作者姓名: | 王伟 赵甜甜 刘强 韩邦成 牛萍娟 桑建 |
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作者单位: | 1. 北京石油化工学院精密电磁装备与先进测量技术研究所;2. 天津工业大学电子与信息工程学院;3. 北京航空航天大学惯性技术重点实验室;4. 广州市鸿利光电股份有限公司 |
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基金项目: | 北京市自然科学基金面上项目资助(No.3212004); |
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摘 要: | 对巨量转移(Mass Transfer, MT)方案和运动定位平台(Motion Positioning Platform, MPP)的研究现状及其未来发展进行了详细阐述。根据芯片转移方式,将MT方案分为精准拾取-释放技术、自组装技术、滚轴转印技术、激光剥离技术,结合芯片转移效率和良率,论述了国内外MT方案的发展过程。在此基础上,从平台支撑方式,详细介绍了机械构型、气浮构型、磁浮构型和混合构型的MPP结构及工作原理,考虑运动行程、运动定位精度等因素,比较了MPP性能的优劣。展望了MT方案和MPP技术的未来发展方向,指出基于微孔液气双态介质的激光剥离MT和具备周向小角度修正以及轴向微高度调节能力的“机械+磁浮”混合构型MPP是Mini/Micro LED芯片转移技术的研究重点。
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关 键 词: | Mini/Micro LED 巨量转移 运动定位平台 显示技术 转移良率 |
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