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基于拓扑优化的电渗流微混合器电极
引用本文:孙建文,张健宇,李博文,邓永波.基于拓扑优化的电渗流微混合器电极[J].光学精密工程,2023(17):2515-2524.
作者姓名:孙建文  张健宇  李博文  邓永波
作者单位:1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2. 中国科学院大学
基金项目:国家自然科学基金资助项目(No.51875545);
摘    要:电渗是当前芯片实验室设备中微流体常用的驱动方式之一,其中电极版图对控制电渗驱动的外电场起到关键作用。针对电渗流电极版图大多基于尺寸优化和形状优化的方法难以大幅提升微流控器件性能的问题,建立电渗流电极拓扑优化模型,采用滤波方程和阈值投影控制电极结构的特征尺寸,通过连续伴随分析方法获得模型的伴随敏度,进而演化电极版图的结构设计变量,最终实现电渗流电极的拓扑优化。基于上述拓扑优化方法设计电渗流微混合器的电极版图,并对影响微混合器混合效果的因素进行分析。结果表明,电渗流微混合器的混合评价指数达到0.047,能够实现两种不同浓度溶液的完全混合。微混合器良好的混合性能验证了本文提出电渗流电极拓扑优化方法的有效性。

关 键 词:微流体  拓扑优化  电渗  微混合器  电极
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