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| 真空技术及应用系列讲座 第十三讲:真空系统的检测技术 | |
| 引用本文： | 张以忱.真空技术及应用系列讲座 第十三讲:真空系统的检测技术[J].真空,2004(1). |
| 作者姓名： | 张以忱 |
| 作者单位： | 东北大学 辽宁沈阳110004 |
| 摘 要： | 1 真空测量仪表与规管的选用和安装1 .1 真空仪表的选用从原则上来说 ,应根据实际情况 ,从以下几个方面考虑选用适用的真空测量仪表。1应具有足够的测量范围。一般要求真空仪表的测量范围至少比被测真空度范围宽 1～ 2个数量级以上。2应具有足够的测量精度 ,有些场合还需要考虑重复性和可靠性。3吸气与放气量小 ,尽量减少对被测系统的影响。4被测气体的种类对测试结果的影响小 ,气体对仪表应无损害。5应能测量气体和蒸汽的全压力。6应能连续指示和测量 ,必要时还需考虑自动控制和远距离测量。7仪表和规管应反应时间快、稳定可靠、结构牢固… |
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