| 单晶炉设计之我见 |
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| 引用本文： | 李留臣. 单晶炉设计之我见[J]. 电子工业专用设备, 2008, 37(3): 20-23 |
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| 作者姓名： | 李留臣 |
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| 作者单位： | 常州华盛天龙机械有限公司,常州,金坛,213200 |
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| 摘 要： | 硅单晶生长设备——单晶炉是一种高技术含量的电子专用设备,由于太阳能光伏产业的飞速发展,设备的需求量不断扩大,对设备的性能要求更高,进行设备开发设计时不但要了解硅单晶生长的工艺要求,还要掌握机械、电子、计算机、真空、热动力学等方面的专业知识,只有将相关先进技术有机地集成在一起,才能够形成先进合理、可靠实用的单晶炉设备。
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| 关 键 词： | 单晶炉 晶体生长设备 真空 |
| 文章编号： | 1004-4507（2008）03-0020-04 |
| 修稿时间： | 2008-02-25 |
My Viewpoint of the Crystal Furnace Design |
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| LI Liu-chen. My Viewpoint of the Crystal Furnace Design[J]. Equipment for Electronic Products Marufacturing, 2008, 37(3): 20-23 |
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| Authors: | LI Liu-chen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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