精密工作台自吸式空气支承的研究

针对自吸式空气支承数学模型的特点,采用等参有限元伽辽金法分析,并推导出真空吸附回路的计算公式和抗拉特性表达式,研究了表面节流支承的性能。同时,运用单片机控制方法建立了效率高、通用性强的空气静压支承实验系统,完成了压力分布、承栽力和刚度等参数的测试,实验数据与计算结果基本吻合。