| MEMS加速度计的六位置测试法 |
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| 引用本文： | 宋丽君,秦永元.MEMS加速度计的六位置测试法[J].测控技术,2009,28(7). |
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| 作者姓名： | 宋丽君 秦永元 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,自动化学院,陕西,西安,710072 |
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| 摘 要： | 主要介绍了MEMS加速度计的六位置测试法,根据MEMS加速度计输出数学模型详细推导了如何得到MEMS加速度计的输出数学模型中的刻度因数、零偏以及安装误差,并在得到其标定系数后将其封装在C函数中进行了验证实验.通过实验数据分析可知,MEMS加速度计的六位置测试法原理简单、易于实现,且精度较高.这种标定法所得到的MEMS加速度计输出能够比较准确地反映其输出,而且MEMS加速度计的线性度有所改善.
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| 关 键 词： | MEMS加速度计 六位置测试法 刻度因数 安装误差 线性度 |
Six-Position Testing of MEMS Accelerometer |
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| SONG Li-jun,QIN Yong-yuan.Six-Position Testing of MEMS Accelerometer[J].Measurement & Control Technology,2009,28(7). |
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| Authors: | SONG Li-jun QIN Yong-yuan |
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| Affiliation: | School of Automation;Northwestern Polytechnical University;Xi'an 710072;China |
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| Abstract: | A six-position testing method of MEMS accelerometer is introduced mainly.According to the error model of MEMS accelerometer the scale factor of MEMS accelerometer,bias of MEMS accelerometer and error on installation of MEMS accelerometer are derived.When the user gets these parameters,the user should pack the function of the concrete mathematics model in C code.By analyzing the results of examination,the six-position testing method of MEMS accelerometer is simple on principle,easy to realize and high in pre... |
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| Keywords: | MEMS accelerometer six-position testing scale factors error of installation nonlinearity |
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