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| 深亚微米飞行高度测量技术研究 | |
| 引用本文： | 王亮,赵大鹏,李庆祥,李玉和. 深亚微米飞行高度测量技术研究[J]. 仪器仪表学报, 2004, 25(Z1): 105-106 |
| 作者姓名： | 王亮 赵大鹏 李庆祥 李玉和 |
| 作者单位： | 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 |
| 基金项目： | 高等学校博士点专项科研基金(20020003015). |
| 摘 要： | 介绍了国内外深亚微米飞行高度测量技术,重点研究了干涉测量法、全内反射法、电学测量法的工作原理,分析了各种测量技术的特点,指出了深亚微米飞行高度测量技术亟待解决的关键性问题. |
| 关 键 词： | 飞行高度 深亚微米 动态测量 |
Study of Deep Sub-micron Flying Height Measuring Technology |
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