深亚微米飞行高度测量技术研究 |
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引用本文: | 王亮,赵大鹏,李庆祥,李玉和. 深亚微米飞行高度测量技术研究[J]. 仪器仪表学报, 2004, 25(Z1): 105-106 |
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作者姓名: | 王亮 赵大鹏 李庆祥 李玉和 |
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作者单位: | 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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基金项目: | 高等学校博士点专项科研基金(20020003015). |
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摘 要: | 介绍了国内外深亚微米飞行高度测量技术,重点研究了干涉测量法、全内反射法、电学测量法的工作原理,分析了各种测量技术的特点,指出了深亚微米飞行高度测量技术亟待解决的关键性问题.
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关 键 词: | 飞行高度 深亚微米 动态测量 |
Study of Deep Sub-micron Flying Height Measuring Technology |
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