电子特气中痕量水溶性杂质的捕集方法研究 |
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引用本文: | 魏王慧,董翊,常燕,于瑞祥,姜阳,任逸尘,高艳秋.电子特气中痕量水溶性杂质的捕集方法研究[J].低温与特气,2023(6):12-16. |
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作者姓名: | 魏王慧 董翊 常燕 于瑞祥 姜阳 任逸尘 高艳秋 |
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作者单位: | 上海市计量测试技术研究院 |
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摘 要: | 配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH+4的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积和吸收瓶规格4个参数对捕集效率的影响,选出最优参数。通过气体稀释仪,绘制了不同浓度下氢中NH+4的气体响应校准曲线,线性良好。确定了气体吸收的检出限,远高于市场检测需求。所进行的吸收参数等的考察为我国集成电路基础材料检测的发展提供了有利的技术支撑。
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关 键 词: | 电子特气 水溶性杂质 离子色谱 气体吸收 捕集参数 |
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