| 原子力显微轮廓仪系统的研究 |
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| 引用本文： | 赵君臣,章海军,张冬仙,林晓峰. 原子力显微轮廓仪系统的研究[J]. 光电子．激光, 2006, 17(7): 841-844 |
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| 作者姓名： | 赵君臣 章海军 张冬仙 林晓峰 |
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| 作者单位： | 浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 研制了原子力显微镜（AFM）轮廓仪，介绍了AFM轮廓仪的基本原理和系统设计，并展示了多孔Al2O3薄膜、MgAl2O4薄膜和TiN薄膜的表面轮廓图。跟普通光学轮廓仪相比，该系统不需要进行复杂的光路调整，避免了光学元器件带来的误差，且工作行程不受光学孔径的制约，具有操作简单、抗干扰能力强和工作行程大的优点。实验表明，该系统具有良好的重复性、稳定性，横向分辨率为1μm，纵向分辨率为1nm。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜(AFM) 步进电机 轮廓仪 纳米 |
| 文章编号： | 1005-0086（2006）07-0841-04 |
| 收稿时间： | 2005-09-23 |
| 修稿时间： | 2005-09-232005-12-10 |
Research of the Atomic Force Microscopy Profilometer System |
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| ZHAO Jun-chen,ZHANG Hai-jun,ZHANG Dong-xian,LIN Xiao-feng. Research of the Atomic Force Microscopy Profilometer System[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2006, 17(7): 841-844 |
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| Authors: | ZHAO Jun-chen ZHANG Hai-jun ZHANG Dong-xian LIN Xiao-feng |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Modern Optical Instruments, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | atomic foree microscopy(AFM) step motor profilometer nanometer |
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