| 体硅隧道加速度计 |
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| 引用本文： | 贾玉斌,董海峰,郝一龙. 体硅隧道加速度计[J]. 纳米技术与精密工程, 2004, 2(1): 29-31 |
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| 作者姓名： | 贾玉斌 董海峰 郝一龙 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院,北京,100871;北京大学微电子学研究院,北京,100871;北京大学微电子学研究院,北京,100871 |
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| 摘 要： | 为了降低成本 ,拓展隧道加速度计的应用 ,作者设计了一种隧道加速度计 .对器件进行体硅工艺研究 ,结果为 :隧尖尺寸为 0 .0 2 μm× 0 .0 2 μm ,隧道电流为 1.14nA～ 4.68nA .
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| 关 键 词： | 微机电系统 隧道电流 加速度计 |
| 文章编号： | 1672-6030(2004)01-0029-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-25 |
A Tunneling-Based Accelerometer in Bulk Silicon Processes |
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| JIA Yu bin,DONG Hai feng,HAO Yi long. A Tunneling-Based Accelerometer in Bulk Silicon Processes[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2004, 2(1): 29-31 |
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| Authors: | JIA Yu bin DONG Hai feng HAO Yi long |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro electromechanical system tunneling current accelerometer |
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