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分类号
杂志ISSN号
Perspectives on oblique angle deposition of thin films: From fundamentals to devices
Affiliation:
Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-US), c/ Americo Vespucio 49, 41092 Seville, Spain
Abstract:
Keywords:
Oblique angle deposition
Glancing angle deposition
Magnetron sputtering
Electron beam evaporation
Nanostructured films
Growth modeling
Monte Carlo
Thin film devices
Transparent conductive oxide
Energy harvesting
Sensors
Optical devices
Wetting
Biomaterials
Biosensing
GLAD
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