| 非晶硅太阳电池的激光刻划 |
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| 引用本文： | 王又良,施亚玲,苏小荣,严淑敏,徐红,蒋加文,李连华,沈玉明,龚焕明,钟伯强.非晶硅太阳电池的激光刻划[J].应用激光,1991(3). |
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| 作者姓名： | 王又良 施亚玲 苏小荣 严淑敏 徐红 蒋加文 李连华 沈玉明 龚焕明 钟伯强 |
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| 作者单位： | 上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，中国科学院上海硅酸盐研究所 |
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| 摘 要： | 对一台用于非晶硅太阳电池的激光刻划和计算机控制系统进行了理论分析,成功地完成了非晶硅和透明导电膜的刻划工艺。
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| 关 键 词： | 太阳电池 激光刻划 |
Laser Scribing System for Amorphous Silicon Solar Cells |
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| Wang Youliang Shi Yaling Su Xiaorong,et al.Laser Scribing System for Amorphous Silicon Solar Cells[J].Applied Laser,1991(3). |
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| Authors: | Wang Youliang Shi Yaling Su Xiaorong |
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| Affiliation: | Wang Youliang Shi Yaling Su Xiaorong,et al Shanghai Institute of Laser Technology Zhong Boqiang Shanghai Institute of Ceramics,Academia,Sinica |
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| Abstract: | In this paper,we described a laser scribing system for fabrication of a-si solarcells and its theoretical analysis.The system has been used to scribe the TCO and a-si filmsin the production. |
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| Keywords: | solar cells laser scribing |
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