| 感光性溶胶-凝胶法在功能薄膜微细图形与微阵列中制备中的应用 |
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| 引用本文： | 赵高扬,赵桂荣. 感光性溶胶-凝胶法在功能薄膜微细图形与微阵列中制备中的应用[J]. 功能材料, 2004, 35(Z1): 3003-3005 |
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| 作者姓名： | 赵高扬 赵桂荣 |
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| 作者单位： | 西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048 |
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| 基金项目： | 国家重大基础前期研究专项项目(2003CCA03300)陕西省教育厅纳米专项项目资助(02JN1-2) |
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| 摘 要： | 以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这样的水平,其主要原因之一是由于功能薄膜通常含有多种化学组元,各种元素的抗蚀能力不同,与硅半导体相比,微细图形制备具有更大的难度.本研究结合功能薄膜的特点,研究了感光溶胶-凝胶技术,在薄膜的制备过程中就考虑到薄膜的微细加工.这种方法充分利用了溶胶-凝胶法可精确调控薄膜成分、按照需要对薄膜的结构进行化学裁剪的特点,用化学修饰法赋予薄膜以感光特性,利用薄膜自身的感光特性制备微细图形,简化了薄膜微细图形制备流程,并可以获得具有亚微米级的功能薄膜阵列或二维格子,在光电子或微电子领域有重要应用前景.
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| 关 键 词： | 微细图形 功能薄膜 感光性 阵列 溶胶一凝胶法 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-3003-03 |
| 修稿时间： | 2004-06-11 |
Fine-patterning and arrays by sol-gel process with photosensitive films |
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| ZHAO Gao-yang,ZHAO Gui-rong. Fine-patterning and arrays by sol-gel process with photosensitive films[J]. Journal of Functional Materials, 2004, 35(Z1): 3003-3005 |
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| Authors: | ZHAO Gao-yang ZHAO Gui-rong |
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