首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

多晶硅敏感技术（连载五）
引用本文：王善慈.多晶硅敏感技术（连载五）[J].传感器与微系统,1994(5):55-64.
作者姓名：王善慈
作者单位：电子工业部第49研究所
摘    要：
关 键 词：多晶硅  敏感技术  压力传感器
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号