圆柱面径向微小尺寸测量用特殊平行板电容传感器讨论

用平行板电容传感器测量微小尺寸可获得高精度，好的动态特性和易于实现信号转换及后续控制与处理，但用普通平行板电容传感器一为测量圆顼径向微小尺寸则受到精度，量程范围及诸多因素的限制。