| 集成风速计片上系统的计算机模拟 |
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| 引用本文： | 朱昊,秦明,黄庆安. 集成风速计片上系统的计算机模拟[J]. 微纳电子技术, 2003, 0(Z1) |
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| 作者姓名： | 朱昊 秦明 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室 江苏南京210096(朱昊，秦明)，东南大学MEMS教育部重点实验室 江苏南京210096(黄庆安) |
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| 摘 要： | 将MEMS器件与CMOS电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小、便于控制、易于大批量生产等优点 ,本文从风速计的工作场入手 ,运用了有限元、数据拟合、等效电路及SPICE宏单元的方法对片上系统进行模拟 ,从而直接模拟出信号状况 ,有利于片上处理电路和控制电路的匹配设计 ,提高了设计效率。文中给出了风速计流体场的有限元分析结果 ,并通过拟合的方法将输出的温度差输出到电路等效的热堆 ,信号和噪声经过片上集成的放大器输出到芯片外 ,有利于温度场、热敏感元件、放大电路的优化设计
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| 关 键 词： | CMOS MEMS 风速计 模拟 |
Simulation of integrated wind flow sensor system on a chip |
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| ZHU Hao,QIN Ming,HUANG Qing an. Simulation of integrated wind flow sensor system on a chip[J]. Micronanoelectronic Technology, 2003, 0(Z1) |
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| Authors: | ZHU Hao QIN Ming HUANG Qing an |
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| Abstract: | MEMS devices integrated with circuits on a chip have advantages of small dimensions and low noises easy controlling and mass production etc. The performance of wind sensor was simulated using ANSYS,polynomial fit, equivalent circuits and SPICE macro element method.This will make it convenient to match MEMS device with the control circuits and processing circuits. |
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| Keywords: | CMOS MEMS wind sensor simulation |
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