| 微机电系统扭转微镜面驱动器的研制 |
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| 引用本文： | 李四华,刘玉菲,高翔,吴亚明. 微机电系统扭转微镜面驱动器的研制[J]. 半导体学报, 2006, 27(4): 756-760 |
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| 作者姓名： | 李四华 刘玉菲 高翔 吴亚明 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海 200050;中国科学院研究生院，北京 100039;中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海 200050;中国科学院研究生院，北京 100039;中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海 200050;中国科学院研究生院，北京 100039;中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海 200050 |
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| 摘 要： | 提出了一种新颖的采用键合减薄工艺制作的微机电系统扭转微镜面驱动器,该种微镜面驱动器工艺制作简便可行.通过对研制的微镜面驱动器进行测试,该驱动器在18V驱动电压时可以达到0.3°的扭转角度,微镜面的频率响应时间小于1ms.同时该驱动器具有较大的微反射镜面,面积达到600μm×700μm,试验结果表明微镜面驱动器将可以应用于光通信领域.
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| 关 键 词： | 微机电系统 扭转微镜面 驱动器 键合减薄 微机电系统 扭转微镜面 驱动器 Technology MEMS Based Actuators Micromirror Torsion Fabrication 光通信领域 应用 结果 试验 面积 反射镜面 响应时间 频率 扭转角度 驱动电压 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)04-0756-05 |
| 收稿时间： | 2005-09-01 |
| 修稿时间： | 2005-10-16 |
Analysis and Fabrication of Torsion Micromirror ActuatorsBased on a MEMS Technology |
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| Li Sihu,Liu Yufei,Gao Xiang and Wu Yaming. Analysis and Fabrication of Torsion Micromirror ActuatorsBased on a MEMS Technology[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2006, 27(4): 756-760 |
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| Authors: | Li Sihu Liu Yufei Gao Xiang Wu Yaming |
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| Affiliation: | Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050,China;Graduate School,Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039,China;Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050,China;Graduate School,Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039,China;Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050,China;Graduate School,Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039,China;Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS torsion micromirror actuator bonding and wafer thinning |
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