| 硅基LiNbO3薄膜的微结构研究 |
| |
| 引用本文： | 卢焕明,叶志镇,黄靖云,汪雷,赵炳辉. 硅基LiNbO3薄膜的微结构研究[J]. 无机材料学报, 2005, 20(4): 971-975 |
| |
| 作者姓名： | 卢焕明 叶志镇 黄靖云 汪雷 赵炳辉 |
| |
| 作者单位： | 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金重大研究计划(90101009);浙江省留学回国基金(20046) |
| |
| 摘 要： | 利用透射电子显微镜及X射线衍射，研究脉冲激光沉积技术(PLD)在Si(001)衬底上生长LiNbO3薄膜的微结构．结果表明，在600℃的衬底温度、30Pa的氧分压条件下，在硅片表面5nm厚的非晶氧化层上生长的薄膜，为c轴择优取向的单相LiNbO3晶体，本文还讨论了获得c轴择优取向LiNbO3薄膜的生长机理．
|
| 关 键 词： | LiNbO3薄膜 透射电子显微镜 PLD技术 |
| 文章编号： | 1000-324X(2005)04-0971-05 |
| 收稿时间： | 2004-05-11 |
| 修稿时间： | 2004-11-29 |
Microstructure of LiNbO3 Thin Films Grown on Silicon Substrates by Pulsed Laser Deposition |
| |
| LU Huan-ming,YE Zhi-zhen,HUANG Jing-yun,WANG Lei,ZHAO Bing-hui. Microstructure of LiNbO3 Thin Films Grown on Silicon Substrates by Pulsed Laser Deposition[J]. Journal of Inorganic Materials, 2005, 20(4): 971-975 |
| |
| Authors: | LU Huan-ming YE Zhi-zhen HUANG Jing-yun WANG Lei ZHAO Bing-hui |
| |
| Affiliation: | StateKeyLaboratoryofSiliconMaterials;ZhejiangUniversity;Hangzhou310027;China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | LiNbO3 transmission electron microscopy pulsed laser deposition |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《无机材料学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《无机材料学报》下载全文 |
