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| 电镀钯（Pd） | |
| 引用本文： | 王丽丽.电镀钯（Pd）[J].半导体技术,1996(6):42-43. |
| 作者姓名： | 王丽丽 |
| 作者单位： | 南京得实集团 |
| 摘 要： | 概述了含有Ｐｄ化合物、吡啶磺酸或其盐／吡啶羧酸或其盐等组成的Ｐｄ镀液，可以获得适用于半导体器件制造用的高纯度Ｐｄ镀层。 |
| 关 键 词： | 电镀 Pd镀层 半导体器件 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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