CIGS薄膜太阳能电池之单靶溅镀制程及应用

运用溶剂浴热法合成四元化合物Cu（InGa）Se2粉末，利用XRD、SEM、XRF及UV—Vis测定其晶相结构、形貌、成分比例及能隙后，压制成靶材，以单源靶溅镀方式溅镀薄膜，采用in—linesputter技术制造出薄膜太阳能电池模块，其转换效率达10％。单靶溅镀制程实现自动化、制程简单，设备维护成本低。