| 紫外透射型液晶光阀用ZnSxSe1-x薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 沈大可,赵高凌,沈鸽,杜丕一,韩高荣,I.K.Sou. 紫外透射型液晶光阀用ZnSxSe1-x薄膜的研究[J]. 材料科学与工程学报, 2002, 20(4): 499-503 |
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| 作者姓名： | 沈大可 赵高凌 沈鸽 杜丕一 韩高荣 I.K.Sou |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027
2. 香港科技大学物理系,香港 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，香港研究资助局资助项目，59910161981，HKUST35，， |
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| 摘 要： | 描述了透射型ZnS,Se1-x光盲紫外液晶光阀的结构和工作原理,并从器件的电学模型出发,着重讨论了整体器件对ZnSxSe1-,光敏层的特殊要求.采用分子束外延技术在ITO石英导电玻璃上制备了不同组分的三元ZnS,Se1-x多晶薄膜,通过控制反应时的生长参数,制备出了符合器件设计要求的光敏层薄膜.室温下,薄膜 的紫外/可见光响应对比度大于103,响应波长截止边可通过控制薄膜中的Se组分,在360～410nm范围内连续可调;薄膜的紫外/可见光吸收系数比大于103;在液晶光阀工作的低频段(＜200Hz),其暗阻抗在105～106Ωcm2之间;暗/亮阻抗比满足器件要求.
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| 关 键 词： | 紫外液晶光阀 透射型ZnSxSe1-x光敏层 光电特性 |
| 文章编号： | 1004-793X(2002)04-0499-05 |
| 修稿时间： | 2002-04-03 |
Study of ZnSxSe1- x Thin Films for Ultraviolet LCLV in Transmission Mode |
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| SHEN Da|ke ,ZHAO Gao|ling ,SHEN Ge ,DU Pi|yi ,HAN Gao|rong ,I.K.Sou+. Study of ZnSxSe1- x Thin Films for Ultraviolet LCLV in Transmission Mode[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2002, 20(4): 499-503 |
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| Authors: | SHEN Da|ke ZHAO Gao|ling SHEN Ge DU Pi|yi HAN Gao|rong I.K.Sou+ |
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| Affiliation: | SHEN Da|ke 1,ZHAO Gao|ling 1,SHEN Ge 1,DU Pi|yi 1,HAN Gao|rong 1,I.K.Sou+2, |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | UV|LCLV transmission mode ZnS-xSe 1-x photosensor opto|electronic properties |
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