| Ti,C超过饱和固溶铝基复合薄膜的微结构和力学性能 |
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| 引用本文： | 尚海龙,沈洁,杨铎,孙士阳,李戈扬.Ti,C超过饱和固溶铝基复合薄膜的微结构和力学性能[J].金属学报,2013(3):320-324. |
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| 作者姓名： | 尚海龙 沈洁 杨铎 孙士阳 李戈扬 |
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| 作者单位： | 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室;上海电机学院机械学院 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划项目2012CB619601;国家自然科学基金项目51071104资助~~ |
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| 摘 要： | 采用Al和TiC靶通过磁控共溅射方法制备了Ti:C≈1的不同Ti和C含量的铝基复合薄膜,研究了Ti和C含量对薄膜微观结构和力学性能的影响.结果表明:Ti和C的共同加入使复合薄膜形成了同时具有置换固溶和间隙固溶特征的"双超"过饱和固溶体,复合薄膜的晶粒尺寸在较低的溶质含量下就迅速减小到100 nm以下,并随溶质含量的增加继续减小.相应地,薄膜的硬度也从纯Al的1.3 GPa迅速提高,在含0.6%(Ti,C)时可达到2.1 GPa,并在含6.4%(Ti,C)时达到最高值7.0 GPa.随溶质含量的进一步提高,复合薄膜逐渐呈现非晶态,硬度也略有降低.研究结果显示了Ti和C双超过饱和固溶对铝基薄膜具有显著的晶粒细化作用和强化效果.
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| 关 键 词： | 铝基复合薄膜 微结构 过饱和固溶 力学性能 磁控溅射 |
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